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C4F6

六氟-1,3-丁二烯
代號C4F6，是一種新型的含氟綠色電子刻蝕氣，具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點，可以實現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能；同時六氟-1,3-丁二烯環(huán)境友好，GWP<<1，大氣壽命1.1天，是當前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。

產(chǎn)品信息概括

產(chǎn)品信息概括

化學名稱 六氟-1,3-丁二烯
別名 全氟丁二烯
CAS號 685-63-2
ELINCS號 211-681-0
化學式 C4F6
結構式 CF2=CF-CF=CF2
分子量 162.03
ODP（CFC-11 = 1） 0
GWP100（CO2 = 1） <<1
大氣壽命（天） 1.1

 

物理與化學特性

化學名稱 六氟-1,3-丁二烯
沸點（℃） 6
熔點（℃） -130
液體密度（@20 ℃,g/cm3） 1.44
臨界溫度（℃） 139.6
臨界壓力（bar） 31.9

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產(chǎn)品規(guī)格

純度 99.9% 99.99%

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包裝規(guī)格

鋼瓶規(guī)格 閥門 充裝量
10 L CGA 350 / DISS 724 10 kg
44 L CGA 350/DISS 724 45 kg
926 L QF-13 1000 kg

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