三氟碘甲烷
三氟碘甲烷
作為一種低GWP值的綠色環(huán)保新型干法刻蝕氣體，可應(yīng)用于半導(dǎo)體閃存芯片的前段刻蝕。
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三氟碘甲烷
作為一種低GWP值的綠色環(huán)保新型干法刻蝕氣體，可應(yīng)用于半導(dǎo)體閃存芯片的前段刻蝕。
| 化學(xué)名稱 | 三氟碘甲烷 |
| 別名 | 三氟甲基碘 |
| CAS號 | 2314-97-8 |
| ELINCS號 | 219-014-5 |
| 化學(xué)式 | CF3I |
| 結(jié)構(gòu)式 |  |
| 分子量 | 195.91 |
| 外觀（常溫常壓下） | 氣體 |
| 顏色 | 無色 |
| 味道 | 無味 |
| ODP（CFC-11 = 1） | <0.09 |
| GWP100（CO2 = 1） | <1 |
| 大氣壽命（天） | <5 |
| TWA（8-hr） | 150 ppm |
| 化學(xué)名稱 | 三氟碘甲烷 |
| 沸點（℃） | -22.5 |
| 熔點（℃） | -110 |
| 液體密度（@25 ℃,g/cm3） | 2.096 |
| 飽和蒸氣壓（@20 ℃，MPa） | 0.472 |
| 臨界溫度（℃） | 122 |
| 臨界壓力（MPa） | 4.04 |
| 臨界體積（cm3/mole） | 225 |
| 閃點（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性（@20 ℃） | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.9% | 99.99% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | CGA 660 / DISS 716 | 10 kg |
| 44 L | CGA 660 / DISS 716 | 45 kg |
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