HFC-236fa
1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代號HFC-236fa，分子式：C3H2F6，為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
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1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代號HFC-236fa，分子式：C3H2F6，為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
| 化學名稱 | 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 |
| 別名 | HFC-236fa |
| CAS號 | 690-39-1 |
| ELINCS號 | 614-909-0 |
| 化學式 | C3H2F6 |
| 結構式 | CF3CH2CF3 |
| 分子量 | 152.04 |
| 外觀（常溫常壓下） | 氣體 |
| 顏色 | 無色 |
| 味道 | 無味 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 9120 |
| 大氣壽命（年） | 213 |
| TWA（8-hr） | 1000 ppm |
| 化學名稱 | 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 |
| 沸點（℃） | -1.4 |
| 凝固點（℃） | -103 |
| 液體密度（@20 ℃,g/cm3） | 1.36 |
| 飽和蒸氣壓（@25 ℃,kPa） | 272.4 |
| 臨界溫度（℃） | 124.9 |
| 水中溶解度（@20 ℃） | 2100 |
| 閃點（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性（@20 ℃） | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.9% | 99.99% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | CGA 660/DISS 716 | 9 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 40 kg |
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