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HFO1336mzz(E)

反式-1,1,1,4.4,4-六氟-2-丁烯
代號(hào)HFO-1336mzz(E)，分子式：(E)-CF3CH=CHCF3，是一種新型的含氟綠色電子刻蝕氣，具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能；同時(shí)HFO-1336mzz(E)環(huán)境友好，GWP=26，溫室效應(yīng)潛較低，大氣壽命121天，是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。

產(chǎn)品信息概括

產(chǎn)品信息概括

化學(xué)名稱 反式1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯
別名 HFO-1336mzz(E)
CAS號(hào) 66711-86-2
ELINCS號(hào) 811-213-0
化學(xué)式 C4H2F6
結(jié)構(gòu)式
分子量 164.05
外觀（常溫常壓下） 氣體
顏色 無(wú)色
味道 無(wú)味
ODP（CFC-11 = 1） 0
GWP100（CO2 = 1） 26
大氣壽命（天） 121
TWA（8-hr） 400 ppm

 

物理與化學(xué)特性

化學(xué)名稱 反式1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯
沸點(diǎn)（℃） 7.5
熔點(diǎn)（℃） ＜-20
液體密度（@20 ℃,g/cm3） 1.31
蒸汽密度（空氣=1） 5.3
飽和蒸氣壓（@20 ℃，kPa） 163.52
蒸汽導(dǎo)熱系數(shù)（@25 ℃，mW/m·K） 11.5
臨界溫度（℃） 130.2
臨界壓力（bar） 36.36
臨界密度 （kg/m3） 489
液體熱容（25 ℃， kJ/kg·K） 1.383
水中溶解度（@20 ℃） 0.28
閃點(diǎn)（℃） 不適用（不可燃）
可燃性（@20 ℃） 不適用（不可燃）
爆炸極限（%vol) 不適用（不可燃）

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產(chǎn)品規(guī)格

純度 99.9% 99.99%

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?包裝規(guī)格

包裝規(guī)格 填充量
13.4 L 10 kg
926 L 1000 kg
ISO TANK 15 Tons