HFIB
六氟異丁烯
又名:3,3,3,4,4,4-六氟異丁烯或2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,簡稱:HFIB;分子式:(CF3)2C=CH2,它的ODP為0,GWP<1,是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的新型含氟電子刻蝕氣之一。
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六氟異丁烯
又名:3,3,3,4,4,4-六氟異丁烯或2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,簡稱:HFIB;分子式:(CF3)2C=CH2,它的ODP為0,GWP<1,是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的新型含氟電子刻蝕氣之一。
化學(xué)名稱 | 六氟異丁烯 |
別名 | 2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,HFIB |
CAS號 | 382-10-5 |
ELINCS號 | 206-840-6 |
化學(xué)式 | C4H2F6 |
分子量 | 164.05 |
ODP (CFC-11 = 1) | 0 |
GWP100 (CO2 = 1) | <1 |
大氣壽命(天) | 17 |
化學(xué)名稱 | 六氟異丁烯 |
沸點(℃) | 14.5 |
液體密度(@20 ℃,g/cm3) | 1.39 |
水中溶解度(@20 ℃) | 0.23 |
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純度 | 99.9% | 99.99% |
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鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
10 L | CGA 660/DISS 716 | 7 kg |
44 L | CGA 660/DISS 716 | 30 kg |
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