溴化氫
溴化氫
除了含Cl和F的氣體外，溴化氫（HBr）也是一種常用的氣體，當(dāng)柵極氧化層的厚度小于10 nm時(shí)，用HBr等離子體，對(duì)多晶硅/Si02的刻蝕選擇比高于以CI為主的等離子體。
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溴化氫
除了含Cl和F的氣體外，溴化氫（HBr）也是一種常用的氣體，當(dāng)柵極氧化層的厚度小于10 nm時(shí)，用HBr等離子體，對(duì)多晶硅/Si02的刻蝕選擇比高于以CI為主的等離子體。
| 化學(xué)名稱 | 溴化氫 |
| 別名 | 氫溴酸 |
| CAS號(hào) | 10035-10-6 |
| ELINCS號(hào) | 233-113-0 |
| 化學(xué)式 | HBr |
| 結(jié)構(gòu)式 | HBr |
| 分子量 | 80.912 |
| 大氣壽命（小時(shí)） | 2.5 |
| TWA（8-hr, ppm） | 3 |
| 化學(xué)名稱 | 溴化氫 |
| 沸點(diǎn)（℃） | -66.38 |
| 熔點(diǎn)（℃） | -86.8 |
| 液體密度（-84 ℃，g/cm3） | 2.603 |
| 蒸汽密度（空氣=1） | 2.71 |
| 飽和蒸氣壓（21 ℃，MPa） | 2.308 |
| 臨界溫度（℃） | 89.8 |
| 臨界壓力（atm） | 84.5 |
| 水中溶解度（20 ℃, g/ml） | 1.93 |
| 閃點(diǎn)（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性（@20 ℃） | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.999% | 99.9999% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10.2 L | CGA 350 / DISS 634 | 10 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 634 | 45 kg |
| 47 L | CGA 350 / DISS 634 | 50 kg |
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