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八氟環(huán)丁烷

八氟環(huán)丁烷
又名全氟環(huán)丁烷，簡(jiǎn)稱PFC-c318，分子式：c-C4F8，是一種化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定且用途十分廣泛的氟碳類特種氣體。在集成電路制造的刻蝕工藝和清洗工藝中有著廣泛的應(yīng)用。隨著電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高純八氟環(huán)丁烷的需求日益增加，尤其在深硅刻蝕、低介電薄膜刻蝕和原子尺度刻蝕工藝等領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用前景。例如：在具有高深寬比的深硅刻蝕工藝中，它具有控制精度高、大區(qū)域一致性好、刻蝕垂直特性好、材料損耗低等優(yōu)點(diǎn)，能夠滿足未來集成電路元器件尺寸小型化、功能性增強(qiáng)、存儲(chǔ)能力增大的發(fā)展要求。

產(chǎn)品信息概括

產(chǎn)品信息概括

化學(xué)名稱 八氟環(huán)丁烷
別名 全氟環(huán)丁烷；R-C318
CAS號(hào) 115-25-3
ELINCS號(hào) 204-075-2
化學(xué)式 c-C4F8
結(jié)構(gòu)式
分子量 200.03
ODP（CFC-11 = 1） 0
GWP100（CO2 = 1） 10600
大氣壽命（年） 3200

 

物理與化學(xué)特性

化學(xué)名稱 八氟環(huán)丁烷
沸點(diǎn)（℃） -5.8
熔點(diǎn)（℃） -40.1
液體密度（-5.8 ℃, g/cm3） 1.637
蒸汽密度（空氣=1） 7.0
飽和蒸氣壓（20 ℃,bar） 2.7
臨界溫度（℃） 115.3
臨界壓力（MPa） 2.79
水中溶解度（mg/L） 140
閃點(diǎn)（℃） 不適用（不可燃）
可燃性（@21 ℃） 不適用（不可燃）
爆炸極限（%vol) 不適用（不可燃）

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產(chǎn)品規(guī)格

純度 99.9% 99.999%

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包裝規(guī)格

鋼瓶規(guī)格 閥門 充裝量
44 L CGA 660 / DISS 716 30 kg