八氟丙烷
八氟丙烷
代號(hào)PFC-218，化學(xué)式：C3F8，八氟丙烷為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
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八氟丙烷
代號(hào)PFC-218，化學(xué)式：C3F8，八氟丙烷為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
| 化學(xué)名稱 | 八氟丙烷 |
| 別名 | 全氟丙烷、Freon 218、RC 218、PFC 218、R218、Flutec PP30、genetron 218 |
| CAS號(hào) | 76-19-7 |
| ELINCS號(hào) | 200-941-9 |
| 化學(xué)式 | C3F8 |
| 結(jié)構(gòu)式 | CF3CF2CF3 |
| 分子量 | 188.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 9500 |
| 大氣壽命（年） | 2600 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化學(xué)名稱 | 八氟丙烷 |
| 沸點(diǎn)（℃） | -36.7 |
| 熔點(diǎn)（℃） | -183 |
| 液體密度（-36.7℃，g/cm3） | 1.6 |
| 蒸汽密度（空氣=1） | 6.683 |
| 飽和蒸氣壓（21.1 ℃,kPa） | 792 |
| 臨界溫度（℃） | 71.9 |
| 臨界壓力（kPa） | 2680 |
| 水中溶解度（15 ℃, mg/L） | 5.7 |
| 閃點(diǎn)（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.9% | 99.99% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | CGA 660 / DISS 716 | 10 kg |
| 44 L | CGA 660 / DISS 716 | 45 kg |
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