五氟乙烷
五氟乙烷
代號(hào)HFC-125，分子式：C2HF5，高純五氟乙烷是離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕，通過與其它氣體混合，控制刻蝕氣體的F/C比來控制刻蝕與沉積的進(jìn)度，從而控制刻蝕深度、選擇性等參數(shù)，達(dá)到理想的刻蝕效果。
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五氟乙烷
代號(hào)HFC-125，分子式：C2HF5，高純五氟乙烷是離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕，通過與其它氣體混合，控制刻蝕氣體的F/C比來控制刻蝕與沉積的進(jìn)度，從而控制刻蝕深度、選擇性等參數(shù)，達(dá)到理想的刻蝕效果。
| 化學(xué)名稱 | 五氟乙烷 |
| 別名 | HFC 125, Khladon 125, Suva 125, Freon 125, Fc-125, R-125 |
| CAS號(hào) | 354-33-6 |
| ELINCS號(hào) | 206-557-8 |
| 化學(xué)式 | C2HF5 |
| 結(jié)構(gòu)式 | CF3CHF2 |
| 分子量 | 120.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 3820 |
| 大氣壽命（年） | 30.7 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化學(xué)名稱 | 五氟乙烷 |
| 沸點(diǎn)（℃） | -48.5 |
| 熔點(diǎn)（℃） | -103 |
| 液體密度（-48.5 °C，g/cm3) | 1.53 |
| 蒸汽密度（空氣=1） | 4.2 |
| 飽和蒸氣壓（20℃，kPa） | 1414.05 |
| 臨界溫度（℃） | 66.05 |
| 臨界壓力（MPa） | 3.592 |
| 臨界密度 （g/cm3） | 0.571 |
| 水中溶解度（25 °C, mg/l） | 1071 |
| 閃點(diǎn)（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.9% | 99.99% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | CGA 350 / DISS 724 | 9 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 724 | 40 kg |
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