四氟甲烷
四氟甲烷
代號PFC-14，分子式：CF4，高純四氟甲烷是離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕，通過與其它氣體混合，控制刻蝕氣體的F/C比來控制刻蝕與沉積的進(jìn)度，從而控制刻蝕深度、選擇性等參數(shù)，達(dá)到理想的刻蝕效果。主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金屬硅化物以及某些金屬的刻蝕。
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四氟甲烷
代號PFC-14，分子式：CF4，高純四氟甲烷是離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕，通過與其它氣體混合，控制刻蝕氣體的F/C比來控制刻蝕與沉積的進(jìn)度，從而控制刻蝕深度、選擇性等參數(shù)，達(dá)到理想的刻蝕效果。主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金屬硅化物以及某些金屬的刻蝕。
| 化學(xué)名稱 | 四氟甲烷 |
| 別名 | 全氟化碳、四氟甲烷、CFC 14、海龍14, R-14 |
| CAS號 | 75-73-0 |
| ELINCS號 | 200-896-5 |
| 化學(xué)式 | CF4 |
| 結(jié)構(gòu)式 | CF4 |
| 分子量 | 88.00 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 7490 |
| 大氣壽命（年） | 50000 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化學(xué)名稱 | 四氟甲烷 |
| 沸點(diǎn)（℃） | -127.8 |
| 熔點(diǎn)（℃） | -183.6 |
| 液體密度（-127.8 °C, g/cm3） | 1.603 |
| 蒸汽密度（空氣=1） | 0.97 |
| 飽和蒸氣壓（15 ℃, MPa） | 3.65 |
| 臨界溫度（℃） | -45.5 |
| 臨界壓力（bar） | 37.43 |
| 臨界體積（dm3/mol） | 0.412 |
| 水中溶解度 | 不溶 |
| 閃點(diǎn)（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.99% | 99.999% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | CGA 320/DISS 716 | 7 kg |
| 44 L | CGA 320/DISS 716 | 32 kg |
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