三氟甲烷
三氟甲烷
代號HFC-23，化學(xué)式：CHF3，高純?nèi)淄槭请x子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕，通過與其它氣體混合，控制刻蝕氣體的F/C比來控制刻蝕與沉積的進(jìn)度，從而控制刻蝕深度、選擇性等參數(shù)，達(dá)到理想的刻蝕效果。除了作為主刻蝕劑外，還可用作其它主刻蝕劑的輔助氣，調(diào)節(jié)氟/碳比。
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三氟甲烷
代號HFC-23，化學(xué)式：CHF3，高純?nèi)淄槭请x子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕，通過與其它氣體混合，控制刻蝕氣體的F/C比來控制刻蝕與沉積的進(jìn)度，從而控制刻蝕深度、選擇性等參數(shù)，達(dá)到理想的刻蝕效果。除了作為主刻蝕劑外，還可用作其它主刻蝕劑的輔助氣，調(diào)節(jié)氟/碳比。
| 化學(xué)名稱 | 三氟甲烷 |
| 別名 | 氟仿、Fluoryl、氟利昂23、Arcton 1、HFC-23、R-23 |
| CAS號 | 75-46-7 |
| ELINCS號 | 200-872-4 |
| 化學(xué)式 | CHF3 |
| 結(jié)構(gòu)式 | CHF3 |
| 分子量 | 70.01 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 14700 |
| 大氣壽命（年） | 228 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化學(xué)名稱 | 三氟甲烷 |
| 沸點（℃） | -82.1 |
| 熔點（℃） | -155.2 |
| 液體密度（-82.1 ℃, g/cm3） | 1.431 |
| 蒸汽密度（空氣=1） | 2.417 |
| 飽和蒸氣壓（20 ℃, MPa） | 4.38 |
| 臨界溫度（℃） | 25.7 |
| 臨界壓力（MPa） | 4.816 |
| 臨界密度 （mol/L） | 7.52 |
| 水中溶解度（20 ℃, g/L） | 1 |
| 閃點（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性 | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.9% | 99.999% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | ?CGA 660 /DISS 716 | 7 kg |
| 44 L | ?CGA 660 /DISS 716 | 32 kg |
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