三氟乙酰氟用途概述
1．高純?nèi)阴７前雽?dǎo)體行業(yè)等離子刻蝕工藝中一種重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕
與傳統(tǒng)的CF4/O2 和C2F6/ O2相對(duì)比CF3COF/ O2可以獲得更高的F/C比。理論上，通過調(diào)節(jié)O2的濃度來調(diào)節(jié)F/C比，以達(dá)到最佳的刻蝕效果。其關(guān)鍵在于·CF3與O2有如下的反應(yīng):
CF3COF + plasma → ·CF3 +CO + F? ? ? ? (1)
CF3· + O2 → CF3OO·? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? (2)
CF3OO· + CF3OO· → CF3O· + O2? ? ? ? (3)
CF3O· → F + COF2? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?(4)
COF2 + plasma → CO + 2F? ? ? ? ? ? ? ? ? ? (5)
CF3· + CF3· → CF3CF3? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? (6)
反應(yīng)(3)與反應(yīng)(6)是競(jìng)爭(zhēng)反應(yīng)，如果O2含量低，反應(yīng)(6)起主導(dǎo)，則F原子的收率就要下降。
三氟乙酰氟具有以下特點(diǎn)：
- 刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能；
- 同時(shí)三氟乙酰氟環(huán)境友好，GWP < 1，大氣壽命6.9天，溫室效應(yīng)很低，是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。
2．三氟乙酰氟可與其他組分混合，組成一種低GWP值的制冷劑
隨著全球氣候變化問題日益凸顯，越來越多的國(guó)家提出了無碳未來的愿景。2023年，歐盟委員會(huì)和歐盟議會(huì)達(dá)成協(xié)議，到2050年，HFCs（氫氟烴）的消費(fèi)將逐步被完全淘汰。根據(jù)歐盟委員會(huì)分配的生產(chǎn)權(quán)，HFCs的生產(chǎn)將在2036年之前逐步降至最低，達(dá)到15%。針對(duì)小型家用和熱泵設(shè)備方面，從2027年開始，歐盟將開始全面禁止使用GWP值大于150的HFCs的小型（<12 kW）單體式熱泵設(shè)備和空調(diào)，并在2032年實(shí)現(xiàn)完全淘汰。
另外，根據(jù)今年美國(guó)環(huán)保署（EPA）的最新提案，從2025年開始，所有常見的較高GWP值的HFCs制冷劑，包括HFC-134a、HFC-404a、HFC-410a等，在大多數(shù)的空調(diào)中都將被禁用。因此，開發(fā)GWP更低、穩(wěn)定、安全的制冷劑仍是制冷行業(yè)亟需解決的問題。
三氟乙酰氟與其他組分混合成一種低GWP值的制冷劑（GWP≤150），從而滿足溫室氣體排放的相關(guān)要求。
